KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪

简要描述：KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面

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厂商性质：代理商
更新时间：2023-03-31
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品牌	其他品牌	应用领域	能源,电子,汽车,电气

KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪产品概述：

● 高精度．安定性．机能性适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。

● 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。

● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。

● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。

● ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。

● ET4300一适合12"样品测量。

台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数

KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪产品概述：

最大试片尺寸	210×210mm~300×400mm
重现性	1σ 0.5nm以内
测定范围	Z:100um X:100～305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能	Z:0.1nm X:0.1um
测定力	0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面

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