XD-1000光谱分析仪是一款全元素上照式荧光光谱仪，可测量纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件 的膜厚，可选配自动平台实现 XYZ 轴编程位移，实现无人值守多点测量，测量软件置入* 的 EFP 算法及解谱技术，解决了诸多业界难题。

XAU荧光光谱分析仪XAU 是一款一机多用型光谱仪，应用了*的 EFP 算法和微光聚集技术，既保留了专用 测厚仪检测微小样品和凹槽的膜厚性能，又可满足成分分析。 被广泛用于各类产品的质量管控、来料检验和对生产工艺控制的测量使用。